任何液體資料在大氣條件下都能溶化、吸附一些氣體。當資料置于真地面時，就會因解溶、解吸而出氣。對正常真空設施來說，資料的出氣是真空零碎中最重要的氣源。罕用的出氣速率單位有：Pa·L／s·cm2。
出氣速率通常與資料中的氣體含量和熱度成反比。因而有時(如電真空器件)也用低溫下資料的出氣總量作為甄拔根據。出氣總量的單位：思忖體積含量為主時可用Pa·L／g；思忖名義含量為主時則用Pa·L／cm2。
資料的出氣速率除非與資料性質無關外，還和資料的打造工藝，貯存狀況等無關。另外，資料的預解決工藝(如：蕩滌、烘烤、氣體尖端放電轟擊、名義解決等)對資料的出氣速率莫須有也很大。因而選用資料出氣速率的數據時務必思忖該署狀況。
資料出氣速率是熱度的因變量，示意為
則單位工夫意思器器壁名義出器量為
式中q——出氣速率
qo——常數
E——出氣活化能
R——氣體普適常數
T——相對熱度
Qm——器壁名義出器量
A——出氣名義的面積
所以出氣速率與熱度無關，因而在設計真空零碎時務必選用理論運用時的熱度數據。如無此數據，則可依據兩個相反熱度下的數值按式(5)繼續估算。另外從式中也能夠看出，出氣速率按指數變遷，因而出器量是工夫的慢變遷因變量(即工夫延伸一個單位級，出氣速率升高較慢)。曾經出過氣(經除氣后)的資料經短工夫裸露大氣后，能從新吸氣并復原到原來的狀況。因而，對真空零碎來說，為了升高出氣率，縮短偷空工夫，無須時常維持在真空狀態。比如，時常運行的真空零碎，那末只是在兩次運行之間臨時工夫裸露大氣的話(如1h以內)，則大概等效為資料已在真地面繼續了10h的出氣工夫；關于時常運行而只裸露于低真空的資料，則可等效于曾經歷了lOOh的出氣工夫。
另外，資料的出氣速率不僅和所閱歷的出氣工夫無關，而且和資料的名義預解決步驟、名義情況有很大關系。比如：關于骯臟的名義來說，名義的晶亮度越高，吸附的水氣就越少；在干澀氮氣或大氣中烘烤，可使不銹鋼名義構成一層密實的淺黃色氧化膜，也能夠縮小出氣，而且能夠將名義的凈化物氧化成氣體或燒掉；用有機溶劑去脂時，名義的單分子層凈化是無奈除掉的，只能靠在真空下烘烤來除掉。比如，熱度在200℃之上的真空條件下的烘烤可無效地除掉水氣，但要無效地除掉氫，則務必在400℃之上的熱度下繼續真空烘烤。
對真空零碎設計來說，僅有資料出氣速率的數據還是不夠的，所以有許多真空泵的抽氣威力是有取舍性的，因而那末能進一步曉得資料出氣中的各族氣體成份的對比，就能有對準性的選配適合的真空泵，失去匡正當的設計。
各族資料的出氣率都是用試驗步驟(如靜態法或動態法測量)測得的，數據存在較大差距。各族數據可查閱無關畫冊。
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